單道掃描ICP光譜儀是一種廣泛應用于無機元素定量和定性分析的精密儀器。在使用過程中，可能會遇到各種故障。以下是對常見故障的具體介紹：

　　1.等離子體無法點亮

　　氬氣純度不足：檢查氬氣鋼瓶壓力表，確保氬氣純度達到99.99%以上。

　　矩管問題：長時間使用的矩管可能需要更換或清洗。若發(fā)現(xiàn)炬管內有螺旋狀放電現(xiàn)象，可能是由于炬管內有水汽或進樣系統(tǒng)（如霧化器的前端噴嘴）發(fā)生堵塞等原因造成的。

　　循環(huán)水冷系統(tǒng)故障：檢查循環(huán)水冷系統(tǒng)是否有充足的冷卻液。

　　RF發(fā)生器故障：若點火時僅聽見點火器發(fā)出的輕微響聲，但點不著火，且不加高壓RF，現(xiàn)象仍相同，則可初步判定為RF發(fā)生器無輸出功率，需聯(lián)系儀器專業(yè)工程師維修。

　　2.使用過程中熄火

　　排風系統(tǒng)不暢：排風系統(tǒng)排風不暢或不連續(xù)，影響等離子矩區(qū)域的熱量排出。

　　炬管安裝位置不正確：炬管的安裝位置對于等離子炬的穩(wěn)定至關重要。

　　操作參數(shù)不當：功率、霧化氣、冷卻氣等操作參數(shù)對等離子體炬的穩(wěn)定都有一定影響。

　　炬管及循環(huán)系統(tǒng)問題：炬管外圍的銅線圈外壁結垢、管內部結垢、循環(huán)系統(tǒng)滲漏及管道過濾器堵塞等原因導致循環(huán)水量不足以及風冷效果不佳。

　　大功率管老化：運行不穩(wěn)定可能導致熄火。

　　氣源壓力過低：載氣（氬氣）純度不夠，儀器等離子炬不穩(wěn)定。

　　人為操作問題：觸動聯(lián)鎖控制點（開關等），造成熄火。

　　3.單道掃描ICP光譜儀儀器無信號

　　進樣管或載氣管脫落：檢驗中突然沒有數(shù)據輸出，可能是霧化器的進樣管或載氣管脫落而造成的。

　　光學系統(tǒng)異常：檢驗時采集不到積分的數(shù)據，也可能是光學系統(tǒng)控制異常，如光柵轉動異常導致所選用的某一元素的一些譜線不能準確地照射到出射狹縫上。

　　4.信號不穩(wěn)定

　　霧化器與氬氣導管接口問題：檢查霧化器和氬氣導管的接口及其密封性。

　　霧化器及進樣管堵塞：檢驗中發(fā)現(xiàn)元素掃描強度突然降低，或短期精密度達不到要求，應檢查霧化器及進樣管，如任何一方堵塞，此時可更換或清洗霧化器。

　　5.環(huán)境因素故障

　　溫度濕度影響：若檢測過程中，發(fā)現(xiàn)儀器性能很不穩(wěn)定、短期精密變較高（如果不是因為儀器預熱時間不夠），則檢查實驗室內溫度及濕度是否達到要求。

　　6.單道掃描ICP光譜儀氣路系統(tǒng)故障

　　氣路泄漏或堵塞：點火時發(fā)現(xiàn)等離子氣流量不足，調節(jié)流量器沒有多大變化，此時初步判定為氣路泄漏或氣路堵塞，處理方法按氣體管路接頭分段排查。

　　氬氣含水分過高或純度不夠：點火時發(fā)現(xiàn)等離子體發(fā)出“劈啪”聲音，而且不易點著，此時初步判定為氬氣含水分過高或氣體純度不夠，更換高純氬氣即可。